阿斯麥曾經(jīng)說過“就算公開圖紙，你們也造不出來”，業(yè)界也曾普遍認(rèn)為中國人現(xiàn)在不能、未來也不可能造出如此高精密超復(fù)雜的光刻機設(shè)備。中國人造不出光刻機？不好意思，上海微電子開發(fā)的純國產(chǎn)光刻機已經(jīng)搞到了28nm！

光刻機主要由工件臺、投影物鏡和光源三大核心子系統(tǒng)件組成。日本尼康株式會社的社長來中國訪問時曾說過這么一句話：“光刻機光學(xué)系統(tǒng)雖然很難，我相信你們能夠研制出來，但工件臺恐怕就拿不下來了，因為這個系統(tǒng)太復(fù)雜了”，不好意思，中國人偏偏把最難的事情搞定了！

華卓精科首席科學(xué)家、清華大學(xué)朱煜教授帶領(lǐng)的團隊攻克光刻機工件臺科技難題！此次光刻機雙工件臺的突破打破了ASML公司在工件臺上的技術(shù)壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司。華卓精科成為國內(nèi)首家可自主研發(fā)并實現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)的光刻機雙工件臺供應(yīng)商。

作為上海微電子光刻機雙工件臺的供應(yīng)商，華卓精科與上海微電子長期保持良好的合作關(guān)系，為國產(chǎn)光刻機崛起奠定了基礎(chǔ)，占據(jù)了中國商用光刻機雙工件臺的主要市場份額。

業(yè)內(nèi)人士表示，華卓精科在光刻機雙工件臺技術(shù)上的突破，為我國自主研發(fā)65nm至28nm雙工件干臺式及浸沒式光刻機提供了技術(shù)賦能，其對于國產(chǎn)核心裝備發(fā)展具有遠(yuǎn)大的戰(zhàn)略意義。一臺EUV光刻機售價高達1億歐元，相信不遠(yuǎn)的將來國產(chǎn)EVU光刻機一定會賣出白菜價，到時候ASML就等著哭去吧！

在上一期的《上海微電子光刻機能否突破挑戰(zhàn)荷蘭ASML公司》一文中，有許多網(wǎng)友對中國能制造光刻機給予極大的支持。不過也有的網(wǎng)友有著相反的聲音，認(rèn)為我們現(xiàn)有的技術(shù)很難追趕ASML公司，甚至認(rèn)為追趕荷蘭ASML的技術(shù)幾乎是不可能的。帶著這個問題有我?guī)c看法，哪怕被懟回來我也要說一說。

 

人民日報：《荷蘭ASML在中國建廠，中國制造光刻機還遠(yuǎn)嗎》

 

一、荷蘭ASML為什么能夠成為行業(yè)領(lǐng)頭羊？

話說荷蘭ASML為什么能夠成為行業(yè)領(lǐng)頭羊，并且成為世界壟斷地位？這與20世紀(jì)80年代在紐約廣場簽署的《廣場協(xié)議》有著直接的關(guān)系。

在這種情況下，日本出現(xiàn)了嚴(yán)重的通貨膨脹，日本經(jīng)濟遭受到前所未有的打擊。同時佳能，索尼公司在日本經(jīng)濟不景氣的情況下無力與荷蘭ASML公司競爭。當(dāng)然，再以美國為首的主導(dǎo)下，韓國的三星，臺灣的臺積電以及美國的英特爾公司等以入股荷蘭ASML的形式入股光刻機研發(fā)。

有些網(wǎng)友認(rèn)為，當(dāng)時的荷蘭ASML的光刻機就是一場豪賭，只不過賭贏了。對此，我不同意這種觀點。我的觀點是他們集中了世界上的優(yōu)秀人才，做出世界上最優(yōu)秀的機器。

二、《瓦森納協(xié)定》安排早就防著中國崛起

我們看到名單里有日本。那么，佳能，索尼的光刻機制造優(yōu)秀人才去了哪里？對了，就是到了荷蘭的ASML公司去了。ASML能夠做大做強，就是集中了世界上的頂尖人才才支撐起來的。

現(xiàn)在，美國打壓華為，甚至全面禁止美國技術(shù)在華為的應(yīng)用，從《瓦森納協(xié)定》就能看出在關(guān)鍵技術(shù)上多么懼怕中國的崛起。

三、荷蘭ASML在中國無錫建廠

 

據(jù)媒體報道，日前，全球移動芯片巨頭荷蘭阿斯麥ASML公司正式宣布，公司已研制出第一代HMI多光速檢測機。具體來看，這款HMI多光速檢測機是一款全新的半導(dǎo)體技術(shù)，將主要用于以5nm為基礎(chǔ)的芯片制程工藝，成功覆蓋市場后，將有望極大提升5nm芯片的產(chǎn)能。自去年開始，美國對中國科技企業(yè)實行限制令，給華為等中國品牌的長期發(fā)展造成了相當(dāng)大的壓力和阻礙作用，而有了ASML的加入，將能夠在一定程度上緩解中國被限制后芯片緊缺的窘境。

荷蘭ASML在中國建廠，尤其是在美國全面打壓華為的背景下，不得不說，中國的崛起尤其是中國的市場的廣闊前景是世界認(rèn)識中國的主流共識。

荷蘭ASML公司在中國無錫建廠，無疑對中國光刻機生產(chǎn)制造是極大的利好。也就是說荷蘭ASML在中國建廠，中國制造光刻機還遠(yuǎn)嗎？

四、在芯片領(lǐng)域我國有重大突破

南大光電光刻膠獲得突破7nm.

我國碳基半導(dǎo)體材料取得關(guān)鍵性突破.

華為光芯片技術(shù)更先進.

打破光刻機雙工件臺"技術(shù)壟斷"，中國距離生產(chǎn)頂尖光刻機還差多遠(yuǎn).?

北京華卓精科科技股份有限公司由清華IC裝備團隊在清華大學(xué)及其下屬“北京-清華工業(yè)技術(shù)研究院”和02專項的支持下創(chuàng)立，是一家肩負(fù)著專項重大科研成果產(chǎn)業(yè)化重任的高新技術(shù)企業(yè)。公司建立初衷在于將清華大學(xué)在02專項中積累的高端壟斷技術(shù)落地產(chǎn)業(yè)化，通過“技術(shù)輻射＆下行”的方式，面向國內(nèi)市場提供產(chǎn)業(yè)界急需的高端零部件、子系統(tǒng)類產(chǎn)品。

光刻機雙工件臺是什么？

光刻機中最關(guān)鍵的兩個子系統(tǒng)，一個是超精密曝光光學(xué)系統(tǒng)，另外一個就是超精密工件臺系統(tǒng)。雙工件臺，即在一臺光刻機內(nèi)有兩個承載晶圓的工件臺。兩個工件臺相互獨立，但同時運行，一個工件臺上的晶圓做曝光時，另一個工件臺對晶圓做測量等曝光前的準(zhǔn)備工作。當(dāng)曝光完成之后，兩個工件臺交換位置和職能，如此循環(huán)往復(fù)實現(xiàn)光刻機的高產(chǎn)能。

雙工件臺的發(fā)明使光刻機的產(chǎn)能有了大幅度提高。傳統(tǒng)的光刻機中只有一個工件臺，晶圓的上下片、測量、對準(zhǔn)、曝光都是順序進行的；而在雙工件臺中，大部分測量、校正工作可以在另一個工件臺上并行。先進光刻機要求有極高的對準(zhǔn)精度，而對準(zhǔn)精度與所需要的測量的對準(zhǔn)標(biāo)記數(shù)目成反比，即測量的標(biāo)識越多，所能表達的對準(zhǔn)精度越高。大量的測量必然導(dǎo)致單工件臺光刻機的產(chǎn)能進一步下降。一般曝光的時間要大于測量和校正的時間，因此，在雙工件臺設(shè)計中系統(tǒng)可以做更多更復(fù)雜的測量，而不影響產(chǎn)能。

圖1雙工件臺（TWINSCAN）光刻機的結(jié)構(gòu)示意圖

中國光刻機企業(yè)發(fā)展到什么階段？

<電子發(fā)燒友>查閱資料發(fā)現(xiàn)華卓精科主要還是專注于高端零部件、子系統(tǒng)類產(chǎn)品，比如光刻機雙工件臺。整體而言，國內(nèi)可以生產(chǎn)光刻機的廠商相當(dāng)少，目前來看，上海微電裝備的發(fā)展在國內(nèi)最為領(lǐng)先，是國內(nèi)唯一一家生產(chǎn)高端前道光刻機整機的公司，其目前可生產(chǎn)加工90nm工藝制程的光刻機，同時承擔(dān)國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”（02專項）的65nm光刻機研制，代表國產(chǎn)光刻機最高水平。

上海微電子裝備光刻機主要用于廣泛應(yīng)用于集成電路前道、先進封裝、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造領(lǐng)域，2018年出貨大概在50-60臺之間。資料顯示，上海微電子SSX600系列步進掃描投影光刻機可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求，可用于8寸線或12寸線的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。

圖：上海微電子SSX600系列光刻機主要產(chǎn)品型號及參數(shù)

事實上，上海微電子的光刻機技術(shù)水平與國際巨頭的差距，基本上可以反應(yīng)目前國內(nèi)光刻機技術(shù)在國際的位置。很明顯，上海微電子與國際三巨頭尼康、佳能（中高端光刻機市場已基本沒落）、ASML（中高端市場近乎壟斷）仍然存在很大差距。不過，有知乎網(wǎng)友認(rèn)為，新技術(shù)的創(chuàng)新與應(yīng)用，比學(xué)習(xí)現(xiàn)有知識技術(shù)的追趕，更難超越更具有偶然性，這也是為什么發(fā)達國家增長率越來越低，而中國作為發(fā)展中國家的增長卻相當(dāng)快，中國的光刻機制造會越來越好。

從2018年各個光刻機制造商的銷售數(shù)據(jù)，可以看出發(fā)展逐漸趨于平緩。

2018年ASML、Nikon、Canon三巨頭半導(dǎo)體用光刻機出貨374臺，較2017年的294臺增加80臺，增長27.21%。ASML、Nikon、Canon三巨頭光刻機總營收118.92億歐元，較2017年增長25.21%。從EUV、ArFi、ArF機型的出貨來看，全年共出貨134臺。其中ASML出貨120臺，占有9成的市場。

2018年ASML光刻機出貨224臺，營收達82.76億歐元，較2017年成長35.74%。其中EUV光刻機營收達18.86億歐元，較2017年增加7.85億歐元。EUV光刻機出貨18臺，較2017年增加7臺；ArFi光刻機出貨86臺，較2017年增加10臺；ArF光刻機出貨16臺，較2017年增加2臺；KrF光刻機出貨78臺，增加7臺；i-line光刻機出貨26臺，和2017年持平。

2018年單臺EUV平均售價1.04億歐元，較2017年單臺平均售價增長4%。而在2018年一季度和第四季的售價更是高達1.16億歐元。目前全球知名廠商包括英特爾Intel、三星Samsung、臺積電TSMC、SK海力士SKHynix、聯(lián)電UMC、格芯GF、中芯國際SMIC、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。2018年中國已經(jīng)進口多臺ArFi光刻機，包括長江存儲、華力微二期。

2018年度（非財年），Nikon光刻機出貨106臺，營收達20.66億歐元，較2017年成長25.29%。2018年度，Nikon半導(dǎo)體用光刻機出貨36臺，比2017年度增加9臺，增長33.33%。其中ArFi光刻機出貨5臺，較2017年度減少1臺；ArF光刻機出貨9臺，較2017年度增加1臺；KrF光刻機出貨5臺，較2017年度增加3臺；i-line光刻機出貨17臺，較2017年度增加6臺。Nikon半導(dǎo)體用光刻機出貨36臺中，其中全新機臺出貨19臺，翻新機臺出貨17臺。2018年度，Nikon面板（FPD）用光刻機出貨70臺。

2018年Canon光刻機出貨183臺，營收達15.5億歐元，較2017年微增1.6%。2018年Canon半導(dǎo)體用光刻機出貨達114臺，較2017年增加44臺，增長62.85%。但是主要是i-line、KrF兩個低端機臺出貨。2018年全年面板（FPD）用光刻機出貨69臺。

而國內(nèi)的發(fā)展情況如何呢？國家重大專項人員投入上正在加大力度，遵循系統(tǒng)工程的開發(fā)流程，整機系統(tǒng)設(shè)計和集成能力很好，目前產(chǎn)品輻射到泛半導(dǎo)體行業(yè)中低端光刻機和類光刻機設(shè)備，產(chǎn)品市場前景不錯。封裝光刻機國內(nèi)市場80%以上占有率，在東南亞也有銷售；LED光刻機近期發(fā)力，訂單多的干不完，年前，6代TFT面板光刻機已出廠，進入量產(chǎn)節(jié)奏。

整體而言，國內(nèi)光刻機企業(yè)與國外光刻機企業(yè)存在差距，但是不管是在市場占有率，還是一些關(guān)鍵技術(shù)上，都在逐漸突破。

根據(jù)當(dāng)時的報道顯示，圍繞雙工件臺系統(tǒng)的研發(fā)，該項目組“完成專利申請231項（其中國際發(fā)明專利41項），已獲得授權(quán)122項；培養(yǎng)了一支近200人的研發(fā)團隊，建立了高水平研發(fā)平臺，為后續(xù)產(chǎn)品研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化打下了堅實的基礎(chǔ)。”

而此次準(zhǔn)備在科創(chuàng)板上市的華卓精科的團隊正是清華大學(xué)機械工程系朱煜教授領(lǐng)導(dǎo)的光刻機雙工件臺系統(tǒng)研究團隊。

根據(jù)華卓精科官網(wǎng)資料顯示，公司成立時間為2012年5月9日，由清華IC裝備團隊在清華大學(xué)及其下屬“北京-清華工業(yè)技術(shù)研究院”和02專項的支持下創(chuàng)立，是一家肩負(fù)著專項重大科研成果產(chǎn)業(yè)化重任的高新技術(shù)企業(yè)。公司建立初衷在于將清華大學(xué)在02專項中積累的高端壟斷技術(shù)落地產(chǎn)業(yè)化，通過“技術(shù)輻射＆下行”的方式，面向國內(nèi)市場提供產(chǎn)業(yè)界急需的高端零部件、子系統(tǒng)類產(chǎn)品。華卓精科主要從事半導(dǎo)體制造裝備及其關(guān)鍵零部件研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、銷售與技術(shù)服務(wù)。

主營產(chǎn)品包含光刻機雙工件臺以及衍生產(chǎn)品——超精密運動定位平臺和高性能主動隔振系統(tǒng)，同時研發(fā)生產(chǎn)更高技術(shù)難度的產(chǎn)品，如IGBT激光快速退火設(shè)備、靜電卡盤、模塊化磁浮運動平臺等高技術(shù)產(chǎn)品。

華卓精科官網(wǎng)顯示，其生產(chǎn)的光刻機雙工件臺主要應(yīng)用于65nm及以下節(jié)點的ArF干式、浸沒式步進掃描光刻機、KrF步進掃描光刻機，單臺系列產(chǎn)品應(yīng)用于i線、g線步進掃描光刻機及封裝光刻機等。華卓精科表示，其生產(chǎn)的光刻機雙工件臺，打破了ASML公司在光刻機工件臺上的技術(shù)上的壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司。

根據(jù)公司2017年年報，華卓精科主要客戶為上海微電子裝備（集團）股份有限公司、浙江啟爾機電技術(shù)有限公司、上海集成電路研發(fā)中心有限公司、中國科學(xué)院光電研究院等。

從新三板退市，轉(zhuǎn)戰(zhàn)科創(chuàng)板

為了推動公司的資本化運作，2015年12月11日，華卓精科834733.OC在新三板掛牌上市。

當(dāng)時的資料顯示，自公司成立至2014年12月31日，華卓精科營業(yè)收入僅為1106.958932萬元，凈利潤36.414245萬元，公司總資產(chǎn)4347.217138萬元，凈資產(chǎn)863.952303萬元。

近幾年，隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，華卓精科的營收及利潤呈持續(xù)快速增長態(tài)勢。

財報顯示，華卓精科2017年營業(yè)收入為5410.22萬元，較上年同期增長14.8%；歸屬于掛牌公司股東的凈利潤為1230.09萬元，較上年同期增長70.17%；

2018年半年報顯示，截至2018年6月30日，華卓精科實現(xiàn)營收3193.03萬元，較去年同期增長44.53%；歸屬于掛牌公司股東的凈利潤為683.66萬元，較去年同期下滑10.34%。而凈利潤減少的主要原因是2018年公司加大研發(fā)投入，自主研發(fā)支出比上年同期增長374萬元，費用化后導(dǎo)致凈利潤減少。

由于新三板缺乏流動性，同時，隨著更為具吸引力的科創(chuàng)板的政策的出臺，華卓精科也開始計劃轉(zhuǎn)戰(zhàn)科創(chuàng)板。2019年2月13日起，華卓精科終止在新三板掛牌，退市前市值為22.5億元。

值得注意的是，在新三板退市之前，2018年，華卓精科在10月進行了一輪8700萬人民幣的戰(zhàn)略融資，引入了中國國際金融股份有限公司、紅星美凱龍、渾璞投資基金作為股東。11月，紅星美凱龍及渾璞投資基金又參與了華卓精科的價值7587.50萬元人民幣的定向增發(fā)。而根據(jù)公告，增發(fā)募集的7587.50萬元資金，主要用于公司半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵零部件研發(fā)制造項目、補充流動資金、償還銀行貸款、購買土地使用權(quán)。不過，在外界看來，華卓精科接連的兩次融資似乎也是在為上科創(chuàng)板做準(zhǔn)備。

清華朱煜教授為第一大股東

根據(jù)天眼查顯示，作為華卓精科的創(chuàng)始人兼董事——現(xiàn)任清華大學(xué)機械系機電所所長朱煜教授目前是華卓精科的控股股東，持股比例為37.77%。

此外華卓精科第四大股東——北京艾西眾創(chuàng)科技發(fā)展中心（有限合伙）（員工持股平臺，持股華卓精科5.82%）的第一大股東也是朱煜，持股15.71%。

此外，在前十大股東當(dāng)中，公司董事長吳勇持股2.87%、董事徐登峰持股2.96%、董事張鳴持股3.95%、董事楊開明持股3.47%。

值得注意的是，根據(jù)華卓精科2018年的半年報，朱煜與徐登峰、張鳴、楊開明、尹文生、胡金春、穆海華、成榮等 7 位自然人股東共同簽署了《一致行動協(xié)議》。

也就是說，朱煜實際上可能控制著華卓精科60%以上的股權(quán)。

小結(jié)：

從以上的介紹，我們不難看出，華卓精科確實在光刻機雙工件臺技術(shù)上擁有著自己核心的優(yōu)勢。但是，從市場的角度來看，光刻機雙工件臺的客戶主要還是光刻機整機廠商。而目前近90%的光刻機市場都被ASML所占據(jù)，雖然國內(nèi)也有上海微電子、中電科四十五所、中電科四十八所等廠商和研究機構(gòu)進行光刻機的研發(fā)，上海微電子還研發(fā)出了中端的投影式光刻機，但它們在整個光刻機市場的出貨和影響非常的小，這也使得華卓精科雖然看上去營收和利潤增長很快，但是實際的營收和凈利潤規(guī)模卻很小，一年的營收可能還不如ASML一臺EUV光刻機的銷售額的1/10高。

不過，即便如此，華卓精科在光刻機雙工件臺技術(shù)上的突破，也為我國自主研發(fā)65nm 至 28nm 雙工件干臺式及浸沒式光刻機奠定了基礎(chǔ)，其戰(zhàn)略意義遠(yuǎn)高于其所帶來的營收及利潤。

而且，我們也應(yīng)該用發(fā)展的眼光來看問題，隨著國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的加速，國內(nèi)對于光刻機的需求也在快速增長，根據(jù)預(yù)計2019、2020 年我國光刻機市場空間約為37.68 億美元、51.12 億美元。而在國產(chǎn)替代的大趨勢之下，國產(chǎn)光刻機產(chǎn)業(yè)有望迎來高速發(fā)展。

裝備材料基金入股華卓精科，萬業(yè)企業(yè)布局光刻機雙工臺

萬業(yè)企業(yè)通過裝備材料基金參投華卓精科，也有利于夯實萬業(yè)企業(yè)戰(zhàn)略布局國產(chǎn)設(shè)備賽道，提升萬業(yè)企業(yè)的產(chǎn)業(yè)協(xié)同和價值收益。